[发明专利]碳电极和多晶硅棒的制造装置

摘要

本发明涉及碳电极和多晶硅棒的制造装置，本发明提供在多晶硅棒气相生长工艺中对可在所有方位伸缩的U形棒的裂缝或破裂的发生具有很好抑制效果的技术。碳电极（30）的上部电极（31）的上表面侧设有保持硅芯线（5a）的芯线固定器（20）的固定部。上部电极（31）上设有从上表面（33）向下表面（34）贯穿的孔部（贯通孔）（35），作为棒状连结部件的螺栓（36）经由垫圈（37）从上部电极（31）上表面（33）插入该孔部（35），在下部电极（32）被螺纹固定。孔部（35）内与螺栓（36）的直杆部之间的间隙（51），使上部电极（31）可以在与下部电极（32）的上表面的接触面即载置面（图2中为与上部电极31的下表面34相接触的下部电极32的上表面）的面内全方位移动，从而在气相生长工艺中对可在所有方位伸缩的U形棒的裂缝或破裂的发生起到抑制效果。

主权项

一种碳电极，用于多晶硅棒的制造，其特征在于，由固定在作为向硅芯线通电的通电用外部电极的金属电极上的下部电极以及载置在该下部电极上的上部电极构成，该上部电极的上表面侧设有保持所述硅芯线的芯线固定器的固定部，设于所述下部电极的上部的凸部插入设于所述上部电极的下部的凹部的内部，所述上部电极载置在所述下部电极上，所述凹部的内部尺寸比所述凸部的外部尺寸大，所述凹部与凸部之间设有间隙，所述上部电极能够在作为与所述下部电极的上表面的接触面的载置面内全方位移动。