[发明专利]清洁电子元件的清洁设备及工艺在审
申请号: | 201410093758.4 | 申请日: | 2014-03-13 |
公开(公告)号: | CN104907288A | 公开(公告)日: | 2015-09-16 |
发明(设计)人: | 朴健禹 | 申请(专利权)人: | 东莞高伟光学电子有限公司 |
主分类号: | B08B7/04 | 分类号: | B08B7/04;B08B7/00;B08B5/02 |
代理公司: | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人: | 仉玉新 |
地址: | 523413 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种用于清洁电子元件(例如照相机模块或者电子基板)的清洁设备。该清洁设备具有多个处理区,和一个或多个传送装置,该传送装置用于将电子元件相继的传送到每一个处理区,使得所述电子元件顺序在串连的处理区进行处理。在一个方面,在一个处理区中,在大气压力下,对所述电子元件采用等离子处理。另一方面,还包括多个分离控制的传送装置,其中,该电子元件在每一个处理区经过各自的处理时间进行处理,其中至少一个处理时间不同于其他的处理时间。 | ||
搜索关键词: | 清洁 电子元件 设备 工艺 | ||
【主权项】:
一种用于清洁电子元件的清洁设备,所述清洁设备包括:多个处理区,所述电子元件在每一处理区经过各自的处理时间之处理,其中所述之各自的处理时间至少一个不同于其它的处理时间;和多个单独操控的传送装置,所述传送装置用于将所述电子元件相继传送到每一个处理区,以使所述电子元件顺序通过每个处理区依次进行处理。
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