[发明专利]一种离子输运装置有效
申请号: | 201410093898.1 | 申请日: | 2014-03-13 |
公开(公告)号: | CN103826380B | 公开(公告)日: | 2016-10-26 |
发明(设计)人: | 尚勇;朱昆;颜学庆 | 申请(专利权)人: | 北京大学 |
主分类号: | H05H15/00 | 分类号: | H05H15/00 |
代理公司: | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人: | 蔡纯;冯丽欣 |
地址: | 100871 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种离子输运装置,所述离子输运装置的前端放置在靠近激光靶的位置,所述激光靶位于激光靶室内部,所述离子输运装置包括连接套筒、收集狭缝板、收集透镜组、矫正磁铁、分子泵和辅助收集透镜组,所述收集狭缝板上设置有收集狭缝,所述收集透镜组、矫正磁铁、分子泵和辅助收集透镜组按照离子束传输的方向依次设置在所述收集狭缝板的后侧,所述连接套筒套装在所述收集狭缝板和收集透镜组上。本发明提供的离子输运装置,由于设置有连接套筒,可以将所述离子输运装置的一部分插入激光靶室内部,能够进一步缩小离子输运装置和激光靶之间的距离,使得整个离子输运装置对离子束的控制更加灵活和高效,能够满足不同的应用需求。 | ||
搜索关键词: | 一种 离子 输运 装置 | ||
【主权项】:
一种离子输运装置,所述离子输运装置的前端放置在靠近激光靶的位置,所述激光靶位于激光靶室内部,其特征在于,包括连接套筒、收集狭缝板、收集透镜组、矫正磁铁、分子泵和辅助收集透镜组,所述收集狭缝板上设置有收集狭缝,所述收集透镜组、矫正磁铁、分子泵和辅助收集透镜组按照离子束传输的方向依次设置在所述收集狭缝板的后侧,所述连接套筒套装在所述收集狭缝板和收集透镜组上;所述连接套筒为前端设有通孔、后端开口的带底筒状结构,在所述连接套筒前端面中心位置设有所述通孔,还包括上游真空管,所述上游真空管的前端设置在所述通孔中,所述收集透镜组套装在所述上游真空管的径向外侧,在所述连接套筒上位于所述连接套筒轴向前端和后端之间的位置设置激光靶室连接部,该激光靶室连接部将所述连接套筒固定在所述激光靶室上,所述连接套筒的筒身部分套装在所述收集透镜组的径向外侧。
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