[发明专利]改进MEMS振荡器启动的系统及方法

摘要

MEMS谐振器系统包括MEMS谐振器、启动电路、反馈电路、振荡器以及开关。所述MEMS谐振器系统被配置为提供有频率和周期的脉冲的启动信号，以便传送给所述MEMS谐振器的能量在短时间被优化，这就缩短了振荡器的启动时间。当所述MEMS谐振器的振荡已实现的时候，所述MEMS谐振器系统被配置为断开所述启动信号，并且在反馈电路中切换以将所述MEMS谐振器维持在振荡状态。

主权项

1.一种MEMS谐振器系统，包括：MEMS谐振器，具有被配置为在固有谐振频率处振荡的可移动构件；振荡器，被配置为提供一系列具有在所述MEMS谐振器的所述固有谐振频率附近的频率和具有持续时间的脉冲；以及启动电路，电耦合于所述振荡器和所述MEMS谐振器，其中所述启动电路被配置为从所述振荡器接收系列脉冲，并且给所述MEMS谐振器提供所述系列脉冲；所述MEMS谐振器系统还包括电耦合于所述启动电路和所述MEMS谐振器的反相器电路，其中所述反相器电路被配置为接收所述系列脉冲作为输入并且将所述系列脉冲的互补信号作为输出提供给所述MEMS谐振器。