[发明专利]有机器件的制造方法、有机器件的制造装置以及有机器件

摘要

本发明提供一种能够抑制水分浸入到有机EL元件的有机器件的制造方法、有机器件的制造装置以及有机器件。该有机器件的制造方法包括以下工序输入工序，输入在第1密封层之上形成有中间层的基板，该第1密封层用于将一个或多个隔离壁部和阳极上的有机层密封；以及回蚀工序，对形成在上述基板上的中间层进行回蚀，执行上述回蚀工序，直至上述一个或多个隔离壁部中的至少一个隔离壁部上的第1密封层的至少一部分自上述中间层暴露到能够与在下一工序中成膜的第2密封层相接触的程度为止。

主权项

一种有机器件的制造方法，其特征在于，该有机器件的制造方法包括以下工序：输入工序，在该输入工序中，输入在第1密封层之上形成有中间层的基板，该第1密封层用于将一个或多个隔离壁部和阳极上的有机层密封；回蚀工序，在该回蚀工序中，对形成在上述基板上的中间层进行回蚀；以及成膜工序，在该成膜工序中，在上述中间层上形成第2密封层，执行上述回蚀工序，直至上述一个或多个隔离壁部中的至少一个隔离壁部上的第1密封层的至少一部分自上述中间层暴露，并且上述第1密封层的顶端部自上述中间层突出，在上述成膜工序中，以自上述中间层突出的第1密封层的顶端部的一部分埋入到上述第2密封层中的方式形成上述第2密封层。