[发明专利]电输运特性测量装置及测量方法

摘要

本发明公开了一种电输运特性测量装置，包括平台主体、四探针升降系统和样品台旋转系统；所述平台主体包括上平台、下平台和升降槽道；所述四探针升降系统包括探针组件和步进电机；所述样品旋转系统包括传动样品台、转动轴和驱动件。本发明还公开了一种电输运特性测量方法，通过多个步骤测量晶体材料各向异性电输运特性。本发明所提供的一种电输运特性测量装置和测量方法，解决了传统四探针输运测试装置不能方便地测量各向异性电输运特性的问题，大大简化了操作过程，提高了实验效率。

主权项

一种电输运特性测量装置，其特征在于，所述电输运特性测量装置包括平台主体、四探针升降系统和样品台旋转系统；所述平台主体包括上平台、下平台和多个连接翼，各个所述连接翼的两端分别连接所述上平台和所述下平台，所述这些连接翼围绕所述平台主体的中心轴线均匀布置，且在所述平台主体的中心轴线处形成空腔，两两所述连接翼之间形成升降槽道，所述上平台具有多个边缘孔和一个中心孔；以及所述四探针升降系统包括四个探针组件和步进电机，各所述探针组件包括依次相连接的探针引脚、探针杆和探针，所述探针引脚穿过所述升降槽道从而固定于所述步进电机，所述探针杆自所述上平台的所述边缘孔穿出使所述探针指向待测样品表面，所述步进电机位于所述平台主体的所述空腔中并与所述下平台接触，用于所述探针组件的升降；以及所述样品旋转系统包括传动样品台、转动轴和驱动件，所述传动样品台用于放置所述待测样品，所述转动轴的下部与所述上平台配合并可转动地嵌在所述上平台中，所述转动轴的上部穿过所述上平台的所述中心孔，与所述传动样品台固定连接，所述驱动件与所述传动样品台配合，用于驱动所述传动样品台转动。