[发明专利]一种光学元件偏心测量装置

摘要

本发明是一种光学元件偏心测量装置，包括升降支架、位移传感器、力传感器、待测光学元件、支撑单元、升降旋转台、基座及数据处理和控制单元；升降支架与升降旋转台的底面固定在基座上；待测光学元件放置于支撑单元中，并由力传感器显示每次测量时支撑力是否一致，由位移传感器获得某个方向上的失高值，然后由升降旋转台将待测光学元件升到一高度并旋转一定角度后再降落回位，在力传感器显示同一数值后获得该角度上的失高值，数据处理和控制单元对旋转角度和力传感器进行控制，在获得多个方向上的一系列失高值后，由数据处理和控制单元计算出待测光学元件的偏心。

主权项

一种光学元件偏心测量装置，其特征在于包括：升降支架(1)、位移传感器(2)、力传感器(3)、待测光学元件(4)、支撑单元(5)、升降旋转台(6)、基座(7)及数据处理和控制单元；其中：升降支架(1)与升降旋转台(6)底面固定在基座(7)上；位移传感器(2)与力传感器(3)连接在升降支架(1)的第一支臂和第二支臂上，沿着升降支架(1)的丝杠上下调节位移传感器(2)和力传感器(3)到基座的高度；支撑单元(5)具有多个支撑点、一个升降支撑点和一个测力支撑点，其中多个支撑点固定在基座(7)上，升降支撑点连接在升降支架(1)的第一支臂上，测力支撑点连接在升降支架(1)的第二支臂上；待测光学元件(4)放置于支撑单元(5)的多个支撑点上，待测光学元件(4)的下表面与在基座(7)上的多个支撑点接触，待测光学元件(4)的侧面和上表面与连接在升降支架(1)上的升降支撑点和测力支撑点接触；力传感器(3)与待测光学元件(4)的侧面接触，力传感器(3)用于显示并记录力传感器(3)的初始示值；位移传感器(2)位于待测光学元件(4)上面，用于测量和显示待测光学元件(4)上表面上某一点处失高值；数据处理和控制单元与位移传感器(2)连接，获取并将待测光学元件(4)上表面上某一点处失高值生成位移信号，用于控制位移传感器(2)的探测杆上升至高点；数据处理和控制单元与升降旋转台(6)连接，获取并将位移传感器(2)的探测杆上升至高点数据信息生成升降信号，用于控制升降旋转台(6)上表面升起并托起待测光学元件(4)离开支撑单元(5)后连同测光学元件(4)进行旋转，旋转预定的角度后升降旋转台(6)开始下降，直至测光学元件(4)重新置于支撑单元(5)的多个支撑点之中；数据处理和控制单元控制位移传感器(2)的探测杆开始下降，直至接触到待测光学元件(4)的上表面，当力传感器(3)示值与之前相同时，数据处理和控制单元通过位移传感器(2)获得待测光学元件(4)上在该角度上的失高值；数据处理和控制单元，获取待测光学元件(4)不同方向上的失高值，用于计算失高差，完成待测光学元件(4)的偏心测量。