[发明专利]太阳能硅片线切割导辊专用镀膜机和电镀机有效
申请号: | 201410098697.0 | 申请日: | 2011-05-03 |
公开(公告)号: | CN103882398A | 公开(公告)日: | 2014-06-25 |
发明(设计)人: | 励征 | 申请(专利权)人: | 蒙特集团(香港)有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C25D7/00;C25D15/00;C25D21/14 |
代理公司: | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人: | 王美华 |
地址: | 中国香港告士打道*** | 国省代码: | 中国香港;81 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种太阳能硅片线切割导辊及制作方法与专用镀膜机和电镀机,制作一种复合聚氨酯制成的V型导辊基体,在V型导辊基体表面上镀有金属复合层,在金属复合层表面镀有耐磨复合层,所述的金属复合层为镍、钛、铜和铬中的一种或多种组成的金属复合层,所述的耐磨复合层为防粘聚合体,防粘聚合体中有耐磨微粒。本发明制成的V型导辊在不改变现有切割工艺条件下,提高V型导辊的使用寿命和减少更换次数、稳定切片良率及提高设备利用率、降低切割综合成本。 | ||
搜索关键词: | 太阳能 硅片 切割 专用 镀膜 电镀 | ||
【主权项】:
一种太阳能硅片线切割导辊的专用镀膜机,用于复合聚氨酯制成的V型导辊基体(1)表面金属化,其特征是:包括真空室(2)以及抽真空机组(3),真空室(2)内设有一对安装V型导辊基体(1)的导辊自公转机架(4),导辊自公转机架(4)上对应设置至少一组安装V型导辊基体(1)的夹具(41),真空室(2)内安装有至少一个磁控靶位(21)以及与磁控靶位(21)对应设置的金属靶位(22),真空室(2)外设有控制磁控靶位(21)工作的磁控电源柜(23)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于蒙特集团(香港)有限公司,未经蒙特集团(香港)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201410098697.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类