[发明专利]低温泵及真空排气方法

摘要

本发明提供一种提高低温泵的气体吸留量的低温泵及真空排气方法。本发明的低温泵（10）具备第1低温板（18），具备放射屏蔽件（30）及横跨屏蔽件开口（26）的板部件（32）；以及第2低温板（20），被第1低温板（18）包围，且被冷却至温度低于第1低温板（18）。板部件（32）具备板主体部（50）；以及板外缘部，用于将板主体部（50）安装于放射屏蔽件（30）上。板主体部（50）具备气体通过区域（56），具有用于使冷凝在第2低温板（20）上的气体通过的多个小孔；以及气体遮蔽区域（58），在板主体部（50）上且形成于与气体通过区域（56）不同的位置。

主权项

一种低温泵，其特征在于，具备：制冷机，具备第1冷却台及被冷却至温度低于所述第1冷却台的第2冷却台，并且所述制冷机配置成与低温泵的中心轴正交；第1低温板，具备具有主开口的放射屏蔽件及横跨所述主开口的板部件，且与所述第1冷却台热连接；以及第2低温板，被所述第1低温板包围，且与所述第2冷却台热连接，并且所述第2低温板具备与所述板部件对置的顶板，所述放射屏蔽件具备：安装座，位于所述顶板的侧向且用于安装所述第1冷却台；以及开环状部分，在周向上与所述安装座邻接，在所述安装座与所述顶板之间形成有包括狭窄部的侧向间隙，在所述开环状部分与所述顶板之间形成有开环状间隙，所述开环状间隙与所述侧向间隙连接从而形成闭环状间隙，所述板部件具备：板主体部；以及外缘部，用于将所述板主体部安装于所述放射屏蔽件上，所述板主体部具备：气体通过区域，具有用于使冷凝在所述第2低温板上的气体通过的多个小孔；以及气体遮蔽区域，在所述板主体部上且形成于与所述气体通过区域不同的位置，所述气体遮蔽区域在周向上的位置形成于与所述狭窄部对置的位置。