[发明专利]微探针及其制备方法有效
| 申请号： | 201410101105.6 | 申请日： | 2014-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN104931741B | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 沈文江;贺世龙;郭帅 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 杨林;李友佳 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供的一种微探针，包括主体支撑部和测试探针，所述测试探针包括测试悬臂梁，所述微探针还包括与主体支撑部固定连接的边翼，所述测试悬臂梁与边翼呈一整体结构。该微探针不仅可以通过与主体支撑部固定连接的边翼控制测试悬臂梁和压力监测悬臂梁的尺寸精度，从而保证微探针的测试悬臂梁和压力监测悬臂梁的弹性指数的均匀性。而且，还可以利用压力监测探针监测测试探针与测试样品之间的接触情况，从而避免测试样品出现凸起、小孔、沾污等缺陷而导致测试失败的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 悬臂梁 微探针 主体支撑部 测试探针 压力监测 边翼 测试 测试样品 弹性指数 控制测试 均匀性 探针 凸起 小孔 沾污 制备 监测 失败 保证 | ||
【主权项】：
1.一种微探针，包括主体支撑部(110)和测试探针(120)，所述测试探针(120)包括测试悬臂梁(121)，其特征在于，所述微探针还包括与主体支撑部(110)固定连接的边翼(140)，所述测试悬臂梁(121)与边翼(140)呈一整体结构；所述微探针还包括用于监测测试悬臂梁(121)与测试样品接触后所受压力大小的压力监测探针(130)；所述压力监测探针(130)采用压阻材料制成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，未经中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410101105.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：多功能防护复合材料及其制备
- 下一篇：一种发电机动能的测试方法
