[发明专利]压电薄膜元件、压电传感器和振动发电机有效
| 申请号： | 201410101620.4 | 申请日： | 2014-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN104064670B | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 柴田宪治;野口将希;末永和史;渡边和俊;堀切文正 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/187 | 分类号： | H01L41/187;H01L41/08;H01L41/113 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 钟晶,於毓桢 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供可以降低压电薄膜层的相对介电常数的压电薄膜元件、压电传感器和振动发电机。压电薄膜元件（1）具备基板、形成于基板上的下部电极层（20）、形成于下部电极层（20）上的组成式为（K1‑xNax）NbO3（0.4≤x≤0.7）的钙钛矿结构的铌酸钾钠的压电薄膜层（30）、以及形成于压电薄膜层（30）上的上部电极层（40），压电薄膜层（30）在将极化‑电场的磁滞回线与表示电场的x轴的交点设为Ec‑和Ec+时，（Ec‑+Ec+）/2的值为10.8kV/cm以上，并且，在将极化‑电场的磁滞回线与表示极化的y轴的交点设为Pr‑和Pr+时，（Pr‑+Pr+）/2的值为‑2.4μC/cm2以下。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 薄膜 元件 传感器 振动 发电机 | ||
【主权项】：
一种压电薄膜元件，其具备：基板，形成于所述基板上的下部电极层，形成于所述下部电极层上的组成式为(K1‑xNax)NbO3的钙钛矿结构的铌酸钾钠的压电薄膜层，其中，0.4≤x≤0.7，以及形成于所述压电薄膜层上的上部电极层，所述压电薄膜层，在将极化‑电场的磁滞回线与表示电场的x轴的交点设为Ec‑和Ec+、将极化‑电场的磁滞回线与表示极化的y轴的交点设为Pr‑和Pr+时，(Ec‑+Ec+)/2的值为10.8kV/cm以上，并且，(Pr‑+Pr+)/2的值为‑2.4μC/cm2以下。
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