[发明专利]平衡正向压降和反向漏电流的肖特基二极管及制备方法有效
| 申请号： | 201410102875.2 | 申请日： | 2014-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN103904133B | 公开（公告）日： | 2017-01-18 |
| 发明（设计）人： | 陈世杰;黄晓橹;陈逸清 | 申请（专利权）人： | 中航（重庆）微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/872 | 分类号： | H01L29/872;H01L29/417;H01L21/329;H01L21/28 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 吴俊 |
| 地址： | 400000 重庆市*** | 国省代码： | 重庆;85 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于整流器的二极管分离器件，更确切的说，本发明旨在提供一种带有沟槽结构或者平面型的肖特基二极管半导体器件及制备方法。包括一个衬底和衬底之上的肖特基合金层，肖特基合金层包括由下至上依次覆盖在衬底上表面之上的肖特基势垒层、势垒调节层和金属阻挡层，可通过调整所述势垒调节层的厚度以及退火条件来调节肖特基合金层的势垒高度。 | ||
| 搜索关键词： | 平衡 正向 反向 漏电 肖特基 二极管 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种平衡正向压降和反向漏电流的肖特基二极管，其特征在于，包括：一衬底和衬底之上的肖特基合金层，肖特基合金层包括由下至上依次覆盖在衬底上表面之上的肖特基势垒层、势垒调节层和金属阻挡层，其中，肖特基合金层的势垒高度通过调整所述势垒调节层的厚度以及退火条件来调节；以及肖特基合金层是在先形成肖特基势垒层后对其实施第一次热处理，并在依次形成势垒调节层和金属阻挡层后对它们共同实施第二次热处理得到的，第一次热处理是快速热退火处理，第一次热处理的温度高于第二次热处理的温度但第一次热处理的时间短于第二次热处理的时间。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中航（重庆）微电子有限公司，未经中航（重庆）微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410102875.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：电镀综合废水处理系统
- 下一篇：蠕变-疲劳裂纹扩展试验装置及相应的测试方法
- 同类专利
- 专利分类
