[发明专利]绝缘膜用感光性树脂组合物及固化物

摘要

本发明提供一种即使不增加光聚合引发剂的添加量也能够实现高灵敏度化，分辨率、可靠性以及耐化学药品性均优异的适合于永久绝缘膜的绝缘膜用感光性树脂组合物。一种绝缘膜用感光性树脂组合物，其特征在于，作为必需成分，含有（i）由下述通式（1）表示的在1个分子内具有羧基和聚合性不饱和基团的碱可溶性树脂、（ii）具有至少一个烯属性不饱和键的光聚合性单体、（iii）光聚合引发剂以及（iv）环氧化合物。

主权项

1.一种绝缘膜的制造方法，其特征在于，在基板上涂布绝缘膜用感光性树脂组合物，进行预烘焙、曝光、碱性显影和后烘焙，由此形成所希望的图案的绝缘膜，得到绝缘膜的膜厚为0.5～1.0μm，碱性显影前后的残膜率为95％以上，所述绝缘膜用感光性树脂组合物，作为必需成分，含有：(i)由下述通式(1)表示的在1个分子内具有羧基和聚合性不饱和基团的碱可溶性树脂，(ii)具有至少一个烯属性不饱和键的光聚合性单体，(iii)光聚合引发剂，以及(iv)环氧化合物，其中，R₁、R₂、R₃、以及R₄独立地表示氢原子、碳原子数为1～5的烷基、卤素原子或苯基，R₅表示氢原子或甲基；另外，X表示‑CO‑、‑SO₂‑、‑C(CF₃)₂‑、‑Si(CH₃)₂‑、‑CH₂‑、‑C(CH₃)₂‑、‑O‑、9,9‑芴叉基或直接键合，Y表示4价的羧酸残基，G表示具有聚合性双键和羧基的取代基或者具有聚合性双键和羟基的基团，Z表示下述通式(2)表示的取代基或者氢原子，n表示1～20的数；其中，L表示2或3价的羧酸残基，p为1或2。