[发明专利]一种光电温度传感器

摘要

本发明涉及集成光电子技术领域，具体为一种光电温度传感器。本发明要解决的技术问题是：降低光电温度传感器对光源的要求从而降低整个温度传感系统的成本。本发明由光源、光学温度传感部分和光电探测部分组成，光学温度传感部分由非对称马赫-曾德干涉仪实现。所述非对称马赫-曾德干涉仪的两臂具有非对称几何结构且两臂的光学相位差在-2π～2π的范围内，其中两臂的非对称几何结构通过选取不同类型的波导，如脊型波导、沟道波导、条形波导等，或者通过选取不同结构参数的同一类型的波导来实施。所述非对称马赫-曾德干涉仪波导为非良导体材料波导或非良导体材料与金属结合的表面等离子体波导，非良导体材料包括介质、有机物等。

主权项

1.一种光电温度传感器，包括光源（1）、光电探测器（3），其特征在于，所述光电温度传感器还包括由非对称马赫-曾德干涉仪实现的光学温度传感部分（2）；所述光学温度传感部分（2）由分束器（4）、第一波导臂（5）、第二波导臂（6）和合束器（7）组成；所述第一波导臂（5）和第二波导臂（6）具有非对称的几何结构、不同的有效折射率n_eff和相近的归一化有效色散系数所述λ为马赫-曾德干涉仪中所传播的光波波长；所述非对称马赫-曾德干涉仪的第一波导臂（5）和第二波导臂（6）之间的光学相位差在-2π～2π的范围内。