[发明专利]一种用于检测平板光学元件面形误差的装置及方法

摘要

本发明涉及一种用于检测平板光学元件面形误差的装置及方法。所述装置包括光学元件支架，匹配液体，匹配液体盛放槽。所述装置可在使用立式干涉仪测量平板光学元件时，消除平板光学元件后光学表面反射光对前光学表面面形误差检测造成的干扰，进而检测出可靠的光学表面面形误差分布。本装置及方法能有效解决普通立式干涉仪无法检测平板光学元件面形误差的问题，且装置及方法原理简单、制造及使用成本较低，在不改变原立式干涉仪结构的情况下能完成对平板光学元件面形误差的检测。采用非接触的方式检测光学元件面形误差，对光学元件无损伤，无夹持应力。检测光学元件面形误差，过程中对光学元件的清洗用自来水清洗即可，不需要特殊的清洗溶剂及方法。

主权项

一种用于检测平板光学元件面形误差的装置，其特征在于包括：光学元件支架（102），匹配液体（103）和匹配液体盛放槽（104），所述光学元件支架（102）用于夹持光学元件（101），并可将光学元件支架（102）放置于匹配液体盛放槽（104）上，匹配液体（103）是与所要检测的平板光学元件（101）的材料折射率接近或完全一致的透明溶液，匹配液体（103）不得对被检测光学元件（101）造成化学损伤。