[发明专利]一种挺柱及其制备方法有效
| 申请号： | 201410103297.4 | 申请日： | 2014-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN103938167A | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 辛延君;王慧芹;程祥军;王洋;杨玉霞 | 申请（专利权）人： | 潍柴动力股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/02;C23C14/58;C23F17/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵青朵 |
| 地址： | 261205 山东省潍坊*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种挺柱的制备方法，包括以下步骤：a）将挺柱基体置于磁控溅射设备中，抽真空后对所述挺柱基体进行预热；b）将步骤a）得到的挺柱进行活化；c）在氮气氛围下，采用TiC靶与SiC靶对步骤b）得到的挺柱进行溅射；d）将步骤c）得到的挺柱进行退火处理。本申请采用TiC、SiC双靶溅射的方法对挺柱进行表面处理，使挺柱表面附着TiSiCN复合层，从而提高了挺柱表面的硬度、耐磨性与抗接触疲劳特性。本申请还提供了一种挺柱，所述挺柱的表面设置有TiSiCN复合层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种挺柱的制备方法，包括以下步骤：a）将挺柱基体置于磁控溅射设备中，抽真空后对所述挺柱基体进行预热；b）将步骤a）得到的挺柱进行活化；c）在氮气氛围下，采用TiC靶与SiC靶对步骤b）得到的挺柱进行溅射；d）将步骤c）得到的挺柱进行退火处理。
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