[发明专利]一种单片集成的全解耦三轴硅微陀螺仪

摘要

本发明公开了一种单片集成的全解耦三轴硅微陀螺仪，其结构形式为四方对称结构，主要包括驱动部分、驱动检测部分、航向角检测部分、俯仰角检测部分、角检测部分以及相应的耦合折叠梁等。其中，所设计四方对称结构中四个正方形大框架内部的结构一致，两对边的结构形式则完全相同，四个大框架通过四个对角处的耦合折叠梁实现连接。本发明的单片集成三轴硅微陀螺仪可以同时测量航向、俯仰、横滚三个方向的角速度，而且各模态之间通过合理的结构设计实现了完全解耦，从而能够达到较为良好的测量性能。

主权项

一种单片集成的全解耦三轴硅微陀螺仪，其特征在于：包括衬底和位于衬底上的驱动部分、驱动检测部分、航向角检测部分、俯仰角检测部分、横滚角检测部分、正方形大框架和耦合折叠梁；正方形大框架有四件，两两相对设置且构成四方对称结构，四件正方形大框架通过耦合折叠梁连为一体，耦合折叠梁固定在衬底上；驱动部分有四件，分别连接在四件正方形大框架的内边上，内边指两两相对设置的正方形大框架内侧的边；驱动检测部分有两件，分别连接在一对相对设置的两件正方形大框架的外边上，航向角检测部分有两件，分别连接在另一对相对设置的两件正方形大框架的外边上，外边为同一正方形大框架上与内边相对的边；俯仰角检测部分有两件，分别置于一对相对设置的两件正方形大框架内部，横滚角检测部分有两件，分别置于另一对相对设置的两件正方形大框架内部，俯仰角检测部分与横滚角检测部分结构相同。