[发明专利]一种气体传感器阵列及其制备方法在审
| 申请号： | 201410105900.2 | 申请日： | 2014-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN104931540A | 公开（公告）日： | 2015-09-23 |
| 发明（设计）人： | 冯亮;关亚风;杨卫;贾明艳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 刘阳 |
| 地址： | 116023 *** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明描述了一种气体传感器阵列及其制备方法。该传感器阵列是一种只用单种半导体金属氧化物纳米材料构建的气体传感器阵列。其制备方法是以一种半导体金属氧化物气敏材料为原料，采取层-层组装的方式，分别制备出数只具有不同厚度气敏膜的气体传感器，以此来构成一个传感器阵列。由于每只传感器对气体的响应各不相同，使得这种传感器阵列对气体的选择性得以大大的提高。所制备的传感器阵列能够对多种有机挥发性气体在其人体致毒浓度进行识别区分。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 传感器 阵列 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种气体传感器阵列，其特征在于：由N个气体传感器组成阵列，N为大于1的正整数；每个传感器均采用同种半导体金属氧化物纳米材料为传感膜，各个传感器中传感膜的厚度各不相同，进而对不同气体响应不同，以实现气体的区分检测。
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