[发明专利]一种钕铁硼稀土永磁器件的混合镀膜设备及制造方法

摘要

本发明公开了一种钕铁硼稀土永磁器件的混合镀膜设备及制造方法，镀膜设备设有真空室、圆柱旋转阴极磁控靶、平面阴极磁控靶、多弧离子靶、转架和料筐。工作时转架在真空室内公转，网状料筐两端有转轴安装在转架上即随着转架公转又自转。圆柱旋转磁控靶安装在真空室内转架内部，平面磁控靶、多弧离子靶、阳极层线性离子源和加热装置安装在真空室内转架的周围，真空镀膜共分3层，第一层为磁控溅射镀层，镀层厚度为：0.1-5μm，第二层为磁控溅射和多弧的混合镀层，镀层厚度为：1-15μm，第三层为磁控溅射镀层，镀层厚度为：0.1-5μm。采用混合镀膜作稀土永磁器件的表面处理工序，不仅提高了稀土永磁器件的抗腐蚀能力，同时也提高了稀土永磁器件的磁性能。

主权项

一种钕铁硼稀土永磁器件的混合镀膜设备，其特征在于：所述的混合镀膜设备包括真空镀膜室、圆柱阴极磁控靶、平面阴极磁控靶、阴极多弧离子靶、阳极层线性离子源、转架和料筐；所述的真空镀膜室由卧式真空壳体、前门和后盖组成，前门和真空壳体通过橡胶密封圈密封，后盖或者焊接在真空壳体上或者通过连接件连接，大转架设计在真空镀膜室内，通过转轴支撑在框架上，框架安装在真空壳体上；大转架的轴线与真空壳体的轴线平行，大转架上安装有3个小转架，小转架的轴线与大转架的轴线平行，多个网状料筐两端有转轴安装在小转架上，转轴的轴线与小转架的轴线平行，大转架围绕真空壳体的轴线公转，小转架即围绕大转架的轴线公转又自转，网状料筐即随大转架一起公转也随着小转架公转又自转；所述的圆柱阴极磁控靶安装在真空镀膜室内的后盖上，圆柱阴极磁控靶位于转架的内部，轴线与转架轴线平行，所述的圆柱阴极磁控靶设置一个以上; 所述的平面阴极磁控靶安装在真空壳体上，分布在转架的外围。