[发明专利]X射线分析装置

摘要

本发明涉及一种X射线分析装置，其包括：第1补偿机构(13A、13B)，该第1补偿机构(13A、13B)基于通过计数机构(10A、10B)所求得的计数率的总数，推测出通过计数机构(10A、10B)得到的能量谱中的波峰位置，并输出初始值，该初始值是用于将该推测出的波峰位置与基准位置一致化的增益值；第2补偿机构(14A、14B)，该第2补偿机构(14A、14B)在通过计数机构(10A、10B)得到的能量谱中，在包括基准位置的规定的能量范围内检测波峰位置，输出动态增益补偿值，该动态增益补偿值是用于将该检测出的波峰位置与基准位置一致化的增益值。

主权项

一种X射线分析装置，其包括：检测器，该检测器产生与射入的X射线的能量相对应的波高的脉冲，所述脉冲以仅仅与前述X射线的强度相对应的数量来产生；高速AD转换器，该高速AD转换器将该检测器所产生的脉冲数字化；计数机构，该计数机构对于该高速AD转换器所发出的脉冲，分成多个连续的波高范围并求出计数率，由此，获得作为相对于波高的计数率的分布的能量谱，基于该能量谱算出上述X射线的强度；波峰位置稳定化机构，该波峰位置稳定化机构对于上述高速AD转换器所发出的脉冲，将上述能量谱中的波峰位置稳定化，其特征在于，所述波峰位置稳定化机构包括：输入脉冲乘法器，该输入脉冲乘法器输入上述高速AD转换器发来的脉冲，改变增益并将该增益输出；第1补偿机构，该第1补偿机构基于通过上述计数机构求得的计数率的总数，推测出上述能量谱中的波峰位置，并输出初始值，该初始值是用于将该推测出的波峰位置与基准位置一致化的增益值；第2补偿机构，该第2补偿机构在通过上述计数机构得到的能量谱中，在包括上述基准位置的规定的能量范围内检测波峰位置，输出动态增益补偿值，该动态增益补偿值是用于将该检测出的波峰位置与上述基准位置一致化的增益值；增益加法器，该增益加法器输入上述初始值和上述动态补偿值，将两者相加并输出到上述输入脉冲乘法器。