[发明专利]晶圆清洁箱内微环境控制装置及控制方法

摘要

本发明提供一种晶圆清洁箱内微环境控制装置，其适用于控制所述微环境以防止清洁后的晶圆被再次污染，包括：具有控制模块、温度探测器和压差计的控制部分、冷却气体输入管路、排气管路、不活泼气体输入管路以及去污干燥装置。该装置可在晶圆被加热清洁之后使晶圆清洁箱与冷却气体源可连通，向箱内输送冷却气体来将晶圆冷却至箱外环境温度；同时在冷却结束之后使晶圆清洁箱与不活泼气体源可连通，向箱内输送不活泼气体；另外，在冷却气体或不活泼气体进入晶圆清洁箱之前先进行干燥和去污，从而避免在晶圆的冷却过程以及晶圆进入下一道工序之前被再度污染。本发明还提供一种晶圆清洁箱内微环境控制方法。

主权项

1.一种晶圆清洁箱内微环境控制装置，其适用于控制所述微环境以防止清洁后的晶圆被再次污染，其特征在于，包括：控制部分，其包括控制模块、与控制模块电连接并用来探测晶圆温度的温度探测器、和与控制模块电连接并用来测量所述微环境和箱外环境压差的压差计；冷却气体输入管路，其一端受控制模块的控制在晶圆被清洁之后与冷却气体源可连通，另一端连接至晶圆清洁箱以有选择地向箱内输送冷却气体来将晶圆冷却至箱外环境温度；排气管路，其一端连接至晶圆清洁箱并受控制模块的控制与微环境可连通，另一端连接至气体排放地；不活泼气体输入管路，其一端受控制模块的控制在晶圆温度降至箱外环境温度时与不活泼气体源可连通，另一端连接至晶圆清洁箱以有选择地向箱内输送不活泼气体直至所述压差达到阈值；去污干燥装置，其设置成对有选择地进入晶圆清洁箱内的冷却气体和不活泼气体进行过滤和干燥，所述冷却气体输入管路的另一端以及所述不活泼气体输入管路的另一端经由所述去污干燥装置与所述晶圆清洁箱连接。