[发明专利]感光性树脂组合物、使用其的感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法及印刷电路板的制造方法

摘要

本发明涉及感光性树脂组合物、使用其的感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法及印刷电路板的制造方法，其中，本发明的感光性树脂组合物含有(A)粘合剂聚合物、（B）具有乙烯性不饱和基团的光聚合性化合物和（C）光聚合引发剂，(B)成分含有下述通式（I）所示的化合物。【化1】（R1～R3各自独立地是下述通式(II)所示的基团或下述通式(III)所示的基团，R1～R3中的一个表示上述通式(III)所示的基团，【化2】【化3】

主权项

一种感光性树脂组合物，其为含有(A)粘合剂聚合物、(B)分子内具有至少一个能够聚合的乙烯性不饱和基团的光聚合性化合物和(C)光聚合引发剂的感光性树脂组合物，其中，所述(A)粘合剂聚合物含有下述通式(VIII)所示的化合物、以及苯乙烯或苯乙烯衍生物作为单体单元，CH2＝C(L1)‑COOL2  (VIII)式(VIII)中，L1表示氢原子或甲基，L2表示碳原子数4～20的烷基，作为所述(B)成分，含有下述通式(I)表示的化合物，式(I)中，R1、R2及R3各自独立地表示下述通式(II)所示的基团或下述通式(III)所示的基团，R1、R2及R3中的一个表示下述通式(III)所示的基团，式(II)中，R4表示氢原子或甲基，X表示碳数2～6的亚烷基，k表示1～30的整数，式(III)中，R5表示氢原子或甲基，Y表示碳数2～6的亚烷基，m表示1～10的整数，n表示1～10的整数，l表示0～10的整数，所述通式(II)中的Z1以及所述通式(III)中的Z2各自独立地表示下述通式(IV)所示的2价基团，式(IV)中，p表示1～10的整数。