[发明专利]力检测元件和力转换元件有效
| 申请号： | 201410113569.9 | 申请日： | 2014-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN104122014A | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 竹中一马 | 申请（专利权）人： | 横河电机株式会社 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;G01L9/06;H01L29/84 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 周善来;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种力检测元件和力转换元件。所述力检测元件具备金刚石基压电电阻，所述金刚石基压电电阻包含导入了作为杂质的硼的高取向性金刚石，所述金刚石基压电电阻的压电电阻系数的绝对值，大于将＜100＞方向作为主轴时的压电电阻系数π11或π12的绝对值。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 元件 转换 | ||
【主权项】：
一种力检测元件，其特征在于，所述力检测元件具备金刚石基压电电阻，所述金刚石基压电电阻包含导入了作为杂质的硼的高取向性金刚石，所述金刚石基压电电阻的压电电阻系数的绝对值，大于将＜100＞方向作为主轴时的压电电阻系数π11或π12的绝对值。
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