[发明专利]一种铜-钼铜-铜三层复合板及其制造方法有效
申请号: | 201410113691.6 | 申请日: | 2014-03-25 |
公开(公告)号: | CN103949472A | 公开(公告)日: | 2014-07-30 |
发明(设计)人: | 姜国圣;周俊;吴化波 | 申请(专利权)人: | 长沙升华微电子材料有限公司 |
主分类号: | B21B1/38 | 分类号: | B21B1/38;B32B15/01 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 李迪 |
地址: | 410604 湖南省长沙*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明涉及一种铜-钼铜-铜三层复合板及其制造方法,本发明的铜板(4)和钼铜合金板的界面有一层电镀铜作为过渡层,采用高温热压烧结的工艺后,界面结合强度高,在后续的轧制生产过程中,界面不容易产生分层,同时可以减小后续的加工变形量,减少边部的开裂现象,因此本发明提供的铜/钼铜/铜电子封装材料界面结合强度高,产品合格率高,成本低,可以广泛的应用于电子工业中。 | ||
搜索关键词: | 一种 钼铜 三层 复合板 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种铜‑钼铜‑铜三层复合板的制备方法,其特征在于,包括下述步骤:步骤一:将钼铜合金板电镀2‑5微米厚的纯铜,得到镀铜的钼铜合金板(5);步骤二:将面积不小于镀铜的钼铜合金板(5)的铜板(4)放置在镀铜的钼铜合金板(5)两侧,一起放置在热压烧结炉(1)的压模上,加压至10‑25Mpa,在气氛保护状态下加热至800‑1000℃,保温保压0.5‑4小时,保持压力不变随炉冷却,得到具有冶金结合的铜‑钼铜‑铜三层复合锭坯;步骤三:将步骤二中所得铜‑钼铜‑铜三层复合锭坯从所述的热压烧结炉(1)中冷却后取出,在气氛保护状态下加热至300‑1000℃进行轧制减薄加工至设定厚度的铜‑钼铜‑铜三层复合锭坯;步骤四:将步骤三中所得减薄的铜‑钼铜‑铜三层复合锭坯先酸洗后冷轧,再在气氛保护状态下加热到300‑1000℃进行热处理,得到成品铜‑钼铜‑铜三层复合板。
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