[发明专利]回收和再利用六氟化钨的系统和方法在审
| 申请号： | 201410113811.2 | 申请日： | 2014-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN104201133A | 公开（公告）日： | 2014-12-10 |
| 发明（设计）人： | A·D·约翰逊;R·K·阿加瓦尔;安熙福;W·J·小卡斯蒂尔;E·J·小卡瓦其;J·F·莱曼;D·C·温切斯特 | 申请（专利权）人： | 气体产品与化学公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;C23C16/14 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 吴亦华 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 可冷凝材料，例如但不限于六氟化钨(WF6)，可以用作化学气相沉积(CVD)工艺中的沉积膜。本发明描述了收集和再利用生产过程中未反应的可冷凝材料的方法，而不是将这些材料作为废料处理。在一个实施方式中，当可冷凝材料，例如气态WF6不被供应给CVD反应器时，其被转向用于收集的回收室。 | ||
| 搜索关键词： | 回收 再利用 氟化 系统 方法 | ||
【主权项】：
用于从使用可冷凝材料的化学工艺反应器中回收可冷凝材料的装置，其包括：(a)与工艺控制器电连通的化学工艺反应器，其具有一条或多条用于引入所述可冷凝材料的管线；(b)化学工艺反应器的排放管线，其能够移除引入到所述化学工艺反应器中的未反应的可冷凝材料；(c)与排放管线连接的回收管线，其中所述回收管线在止回阀的上游，并且其中所述回收管线将来自所述排放管线的未反应可冷凝材料送到回收容器；(d)回收管线中的自动阀门，其与所述工艺控制器具有信号连接；(e)工艺控制器；以及，(f)回收容器，其进一步包括与工艺控制器电连通的冷却套，并且能够容纳所述未反应的可冷凝材料。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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