[发明专利]基于沟道阵列结构的异质结场效应晶体管

摘要

本发明涉及一种基于沟道阵列结构的异质结场效应晶体管，包括异质结，所述异质结包括由上到下层叠设置的第一、第二半导体层，第一、第二半导体层界面处形成有二维电子气，第一半导体层上设置有源、漏和栅极，栅极设置于源、漏极之间，且栅极下方的异质结内设有沟道阵列，该沟道阵列由多条并列设置的沟道组成，其中任一沟道的两端均分别指向源极和漏极，且任一沟道的上端面和两侧壁上均连续覆设用于构成栅极的栅金属层。本发明采用基于沟道阵列的结构设计，并通过将栅金属覆盖在沟道的顶部和两边的侧壁形成环栅结构，从而增强了对沟道的调制能力，适用于一切基于异质结界面处二维电子气工作的半导体电子器件，并可同时满足实际应用的各种要求。

主权项

一种基于沟道阵列结构的异质结场效应晶体管，包括异质结，所述异质结包括由上到下层叠设置的第一半导体层和第二半导体层，所述第一半导体层和第二半导体层界面处形成有二维电子气，所述第一半导体层上设置有源极、漏极和栅极，所述栅极设置于源极和漏极之间，其特征在于：所述栅极下方的异质结内设有沟道阵列，所述沟道阵列由复数条并列设置的宽度为1nm～10μm的沟道组成，其中任一沟道的两端均分别指向源极和漏极，且任一沟道的上端面和两侧壁上均连续覆设用于构成栅极的栅金属层，所述栅金属层自所述沟道两端之间的一选定位置延展至覆盖沟道靠近源极或漏极的一端边缘部上。