[发明专利]回射式光栅尺测量系统及其应用在审
| 申请号： | 201410114025.4 | 申请日： | 2014-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN104949616A | 公开（公告）日： | 2015-09-30 |
| 发明（设计）人： | 吴萍;张志平 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种回射式光栅尺测量系统及其应用，该系统包括光栅尺测量探头和光栅，其中，所述光栅尺测量探头包括光源、信号输出单元、测量单元和回射单元，所述光源发出的光束入射至所述测量单元，从所述测量单元出射后以非利特罗角度入射至所述光栅上，经光栅衍射后的光束入射至所述回射单元，经所述回射单元回射的光束沿入射光方向原路返回所述光栅上，在光栅上发生第二次衍射后原路返回至所述测量单元，经所述测量单元作用后，入射至所述信号输出单元，从所述信号输出单元输出测量信号。本发明的测量系统在工作中受环境影响较小，相对于干涉仪具有更好的重复精度，同时能够满足大垂向测量范围的应用需求。 | ||
| 搜索关键词： | 回射式 光栅尺 测量 系统 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种回射式光栅尺测量系统，其特征在于，包括光栅尺测量探头和光栅，其中，所述光栅尺测量探头包括光源、信号输出单元、测量单元和回射单元，所述光源发出的光束入射至所述测量单元，从所述测量单元出射后以非利特罗角度入射至所述光栅上，经光栅衍射后的光束入射至所述回射单元，经所述回射单元回射的光束沿入射光方向原路返回所述光栅上，在光栅上发生第二次衍射后原路返回至所述测量单元，经所述测量单元作用后，入射至所述信号输出单元，从所述信号输出单元输出测量信号。
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