[发明专利]具有CrCu合金势垒的肖特基势垒二极管无效

专利信息
申请号: 201410114248.0 申请日: 2014-03-24
公开(公告)号: CN103943687A 公开(公告)日: 2014-07-23
发明(设计)人: 刘彦涛;王斌;黄福成;田振兴 申请(专利权)人: 吉林麦吉柯半导体有限公司
主分类号: H01L29/872 分类号: H01L29/872;H01L29/47;C22C27/06
代理公司: 长春菁华专利商标代理事务所 22210 代理人: 陶尊新
地址: 132013*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 具有CrCu合金势垒的肖特基势垒二极管属于分立半导体器件技术领域。现有技术普遍使用Cr作为肖特基势垒二极管的材料势垒,然而,Cr的功函数较低,导致器件IR参数能力较弱。虽然Pt的功函数较高,但是价格昂贵。而采用CrNi合金取代Cr所获得的IR参数不稳定。本发明之具有CrCu合金势垒的肖特基势垒二极管其特征在于,与N型硅半导体材料形成肖特基势垒层的金属材料为CrCu合金,Cu在CrCu合金中的质量百分含量为0.5~0.35%。本发明其技术效果在于,使得肖特基势垒二极管的IR的值能够降低30%以上,如从40μA降低到20μA,参数能力得到明显改善。
搜索关键词: 具有 crcu 合金 肖特基势垒二极管
【主权项】:
一种具有CrCu合金势垒的肖特基势垒二极管,其特征在于,与N型硅半导体材料形成肖特基势垒层(4)的金属材料为CrCu合金,Cu在CrCu合金中的质量百分含量为0.5~0.35%。
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