[发明专利]一种真空容器内光学检测架的隔振机构有效
申请号: | 201410114728.7 | 申请日: | 2014-03-25 |
公开(公告)号: | CN103940589A | 公开(公告)日: | 2014-07-23 |
发明(设计)人: | 刘立杰 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人: | 田春梅 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 一种真空容器内光学检测架的隔振机构涉及光学精密检测振动隔离技术领域,技术方案是:光学检测架通过支撑臂和支撑立柱固定到隔振器上,或者光学检测架通过支撑臂和吊杆固定到隔振器上,真空容器筒壁竖向中部位置设有凸形腔体,光学检测架的支撑臂伸到所述凸形腔体内与支撑立柱连接,支撑立柱垂直贯穿凸形腔体壳下部壁后固定到隔振器上;或者,光学检测架的支撑臂伸到所述凸形腔体内与吊杆连接,吊杆垂直贯穿凸形腔体壳上部壁后固定到隔振器上。本发明可以使光学平台及其荷载的重心接近隔振装置的弹性平面,避免整个隔振系统出现摇摆和不稳定现象。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空 容器 光学 检测 机构 | ||
【主权项】:
一种真空容器内光学检测架的隔振机构,其特征是:光学检测架通过支撑臂和支撑立柱固定到隔振器上,或者光学检测架通过支撑臂和吊杆固定到隔振器上,真空容器筒壁竖向中部位置设有凸形腔体,光学检测架的支撑臂伸到所述凸形腔体内与支撑立柱连接,支撑立柱垂直贯穿凸形腔体壳下部壁后固定到隔振器上;或者,光学检测架的支撑臂伸到所述凸形腔体内与吊杆连接,吊杆垂直贯穿凸形腔体壳上部壁后固定到隔振器上。
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