[发明专利]一种金属-绝缘体-金属电容结构有效
| 申请号： | 201410114832.6 | 申请日： | 2014-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN104952939B | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 张贺丰 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/92 | 分类号： | H01L29/92;H01L29/40 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 董巍;高伟 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种金属‑绝缘体‑金属电容结构，包括上极板、下极板以及位于所述上极板和所述下极板之间的电介质，其中所述上极板和所述下极板为具有多个间隔设置部分的非平面板状结构。其中所述电容结构选用金属层‑绝缘层‑金属层的结构，在所述结构中所述上极板和所述下极板不再选用大面积的板状结构，而是由多个部分相互连接而成，从而避免了在所述电容上方形成介电层时形成山脊状突起（hill‑shape）的问题，而且所述多个部分之间相互间隔设置，在所述电容结构的上方形成层间介电层时不会形成凸起，在形成通孔或者其他图案时不会引起缺陷，可以提高器件的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 绝缘体 电容 结构 | ||
【主权项】：
1.一种金属‑绝缘体‑金属电容结构，包括上极板、位于所述上极板下的下极板以及位于所述上极板和所述下极板之间的电介质，其中所述上极板和所述下极板为具有多个间隔设置部分的非平面板状结构；其中所述上极板和所述下极板均包括若干相互嵌套的环状结构，其中所述若干环状结构间隔设置，并且通过水平连接端连接为一体；或所述上极板和所述下极板均呈鱼骨状结构；所述电容结构还进一步包括上通孔和下通孔，其中所述上通孔和所述上极板相连，所述下通孔和所述下极板相连，以使所述上极板和下极板之间隔离设置。
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