[发明专利]基于双层梳齿驱动MEMS大转角可动闪耀光栅光调制器

摘要

本发明涉及MEMS光调制器技术领域，具体涉及一种MEMS闪耀光栅光调制器和阵列:所述MEMS大转角可动闪耀光栅光调制器，采用双层梳齿驱动，并将双层梳齿驱动位置布置在光栅镜面两端的柔性支撑梁上。使用多个可动闪耀光栅光调制器构成阵列时，每一个双层梳齿驱动的MEMS大转角可动闪耀光栅光调制器均可在驱动电路控制下独立动作，而且每个光栅镜面间的间隙很小。本结构使光栅可以向两侧发生大角度偏转，具有偏转角大、衍射效率高、调谐频率高、防粘附的优点。这种光栅光调制器及其阵列，可应用于光谱仪、光通信、精密测量、激光整形、显示等领域。

主权项

双层梳齿驱动的MEMS大转角可动闪耀光栅光调制器其特征在于：包括：包括硅衬底以及设置于硅衬底上的绝缘层，光栅通过弹性悬臂梁悬空支撑于绝缘层上方,主要由双层梳齿驱动结构、光栅镜面、柔性梁、2个柱子、驱动电路组成;其中，光栅镜面与梳齿的动齿连接在一起，然后通过柔性梁与柱子连接，两个柱子固定在衬底表面，双层梳齿驱动由动齿和定齿组成，动齿交叉悬浮在定齿上方。