[发明专利]振动元件、振子、振荡器、电子设备、传感器以及移动体

摘要

振动元件、振子、振荡器、电子设备、传感器以及移动体。本发明提供一种能够以低功耗发挥优异的振动特性的振动元件，以及具有该振动元件的振子、振荡器、电子设备以及移动体。振动元件（2）具有石英基板（3），该石英基板（3）具有：基部（4）；从基部（4）起延伸的一对振动臂（5、6）；以及支承臂（71），其在振动臂（5、6）之间，在与振动臂（5、6）相同的一侧从基部（4）起延伸。并且，振动臂（5）具有臂部（51）和设置在臂部（51）前端的锤头（59）。臂部（51）具有一对主面和朝这些主面敞开的有底的槽。在本发明中，将主面的沿着与振动臂的长度方向垂直的宽度方向隔着槽排列的堤部的宽度设为6μm以下。

主权项

1.一种振动元件，其特征在于，该振动元件包含：基部；以及至少一个振动臂，其在俯视时从所述基部起沿着第1方向延伸，在彼此处于正反关系的一对主面中的至少一个主面上设有槽，在所述振动臂的主面中，在俯视时所述振动臂的沿着与所述第1方向垂直的第2方向隔着所述槽排列的各堤部的沿着所述第2方向的宽度为6μm以下，所述振动臂包含施重部和臂部，该臂部在俯视时配置在所述施重部与所述基部之间，在设所述振动臂的沿所述第1方向的长度为L、所述施重部的沿所述第1方向的长度为H时，满足0.012<H/L<0.3。