[发明专利]环形光束产生装置无效
申请号: | 201410116524.7 | 申请日: | 2014-03-26 |
公开(公告)号: | CN103941403A | 公开(公告)日: | 2014-07-23 |
发明(设计)人: | 唐仕旺;朱海东;谢兴龙;郭爱林;胡恒春;杨庆伟;高奇 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G02B27/09 | 分类号: | G02B27/09 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 张泽纯 |
地址: | 201800 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种环形光束产生装置,该装置由定倍扩束镜组、DOE位相板、双远心变倍镜组、偏振片镜组、反射锥形镜组和观察定位系统构成,本发明灵活性很高,对不同类型的输入光束,都能得到厚度、内半径可变化的均匀环形光束,无像差。 | ||
搜索关键词: | 环形 光束 产生 装置 | ||
【主权项】:
一种环形光束产生装置,其特征在于:该装置包括定倍扩束镜组(1)、DOE位相板(201)、双远心变倍镜组(3)、偏振片镜组(4)、反射锥形镜组(5)和观察定位系统(6)构成: 所述的定倍扩束镜组(1)为开普勒型扩束镜,由第一平凹镜(101)和第一平凸镜(102)构成; 所述的DOE位相板(201)为衍射光学元件,将超高斯部分相干光整形为均匀的圆形光束; 所述的双远心变倍镜组(3)由依次的变焦透镜组(301)、光阑(302)和补偿透镜组(303)构成,所述的变焦透镜组(301)由第二平凸镜(301‑1)与第二平凹镜(301‑2)组成; 所述的偏振片镜组(4)由起偏器(401)、偏振片(402)、λ/4波片(403)构成; 所述的反射锥形镜组(5)由外反射锥形镜(502)和内反射锥台形镜筒(501)构成; 沿入射光束方向依次是同光轴的第一平凹镜(101)、第一平凸镜(102)、DOE位相板(201)、第二平凸镜(301‑1)、第二平凹镜(301‑2)、光阑(302)、补偿透镜组(303)、起偏器(401)、偏振片(402)、λ/4波片(403)、外反射锥形镜(502)和内反射锥台形镜筒(501),所述的偏振片(402)与光轴成45°,所述的观察定位系统(6)由CCD相机(601)和电脑(602)构成,所述的CCD相机(601)位于所述的偏振片(402)的反射光输出方向,所述的CCD相机(601)的输出端接所述的电脑(602)的输入端。
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