[发明专利]激光器高效脉冲放电系统

摘要

激光器高效脉冲放电系统，涉及高功率脉冲气体激光器技术领域，解决现有脉冲放电回路中，主放电与预电离之间的延迟时间通过放电回路参数自动匹配的方式，在破坏脉冲放电电路原有的匹配状态的同时无法实现较大时间范围的调整，不能进行高重复频率放电的问题，包括两路延时可调信号分配器、两个触发装置、预电离充放电回路和主放电充放电回路；预电离充放电回路由第一充电电源、第一脉冲开关、预电离储能电容、充放电电感以及与充放电电感两端连接的火花针构成；主放电充放电回路由第二充电电源、第二脉冲开关、主放电储能电容、充放电电感以及与充放电电感两端连接的电极对构成；本发明所述系统实现高重复频率放电运行，获得高平均功率激光输出。

主权项

激光器高效脉冲放电系统，包括两路延时可调信号分配器（9）、两个触发装置、预电离充放电回路和主放电充放电回路；其特征是，所述预电离充放电回路由第一充电电源（2）、第一脉冲开关（3）、预电离储能电容C1、充放电电感L1以及与充放电电感L1两端连接的两排火花针构成；所述主放电充放电回路由第二充电电源（6）、第二脉冲开关（5）、主放电储能电容C2、充放电电感L2以及与所述充放电电感L2两端连接的电极对构成；当所述第一充电电源（2）和第二充电电源（6）分别对预电离储能电容C1和主放电储能电容C2充满电时，所述两路延时可调信号分配器（9）向第一触发装置（1）发出指令，所述第一触发装置（1）控制第一脉冲开关（3）导通，第一脉冲开关（3）控制预电离充放电回路的闭合，使预电离充放电回路中的火花针放电，在所述两路延时可调信号分配器（9）向第一触发装置（1）发出指令经过一定延迟时间后，两路延时可调信号分配器（9）向第二触发装置（7）发出指令，第二触发装置（7）控制第二脉冲开关（5）导通，第二脉冲开关（5）控制主放电充放电回路闭合，使主放电充放电回路中的电极对放电；激励激光工作气体产生激光输出。