[发明专利]检测微电子机械系统加速度传感器芯片的特性的方法、装置和系统有效
| 申请号： | 201410116900.2 | 申请日： | 2014-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN103837706A | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 董旸;冯方方 | 申请（专利权）人： | 中国科学院地质与地球物理研究所 |
| 主分类号： | G01P21/00 | 分类号： | G01P21/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种检测微电子机械系统加速度传感器芯片的特性的方法、装置和系统。所述方法包括：根据MEMS加速度传感器芯片在不同振动频率下的输入信号和输出信号，拟合开环频率特性；将所述MEMS加速度传感器芯片的开环频率特性与理想状态下的MEMS加速度传感器芯片的开环频率特性进行比较，确定所述MEMS加速度传感器芯片的结构是否存在问题。根据所述MEMS加速度传感器芯片的开环频率特性测试数据计算得到所述MEMS加速度传感器芯片的开环传递函数的极点和零点值。根据本发明实施例，可以确定微电子机械系统加速度传感器芯片的开环传递函数，根据此特性可判定MEMS加速度传感器芯片是否满足误差允许范围，并可指导设计MEMS加速度传感器的闭环控制系统。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 微电子 机械 系统 加速度 传感器 芯片 特性 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种检测微电子机械系统加速度传感器芯片的特性的方法，其特征在于，包括：根据微电子机械系统MEMS加速度传感器芯片在不同振动频率下的输入信号和输出信号，拟合所述MEMS加速度传感器芯片的开环频率特性；其中，所述输入信号为对输入到所述MEMS加速度传感器芯片的振动变化量进行转换后所得到的电压信号，所述输出信号为对所述MEMS加速度传感器芯片输出的电容变化量进行转换后所得到的电压信号；将所述MEMS加速度传感器芯片的开环频率特性与理想状态下的MEMS加速度传感器芯片的开环频率特性进行比较，确定所述MEMS加速度传感器芯片的结构是否存在问题。
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