[发明专利]正型抗蚀剂组合物有效
| 申请号： | 201410117221.7 | 申请日： | 2014-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN104076607B | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 高桥和树;松本直纯;引田二郎 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/004 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 蒋亭 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种聚焦裕度大、且分辨率优异的正型抗蚀剂组合物。本发明的正型抗蚀剂组合物含有相对于100质量份的碱可溶性树脂(A)为5～25质量份的酚化合物(B)，并且所述正型抗蚀剂组合物以相对于(A)成分和(B)成分的总质量100质量份为15～40质量份的范围含有感光性成分的混合物(C)，所述感光性成分的混合物(C)包含3种以上的二叠氮基醌的酯化物，所述正型抗蚀剂组合物还含有有机溶剂(D)。 | ||
| 搜索关键词： | 正型抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种正型抗蚀剂组合物，其含有碱可溶性树脂(A)、相对于100质量份的碱可溶性树脂(A)为5～25质量份的酚化合物(B)，并且所述正型抗蚀剂组合物以相对于(A)成分和(B)成分的总质量100质量份为15～40质量份的范围含有感光性成分的混合物(C)，所述感光性成分的混合物(C)包含下述式(C－1)所示的二叠氮基醌的酯化物、下述式(C－2)所示的二叠氮基醌的酯化物和下述式(C－3)所示的二叠氮基醌的酯化物，所述正型抗蚀剂组合物还含有有机溶剂(D)，![]()
式(C－1)中，R14独立地表示碳原子数1～5的烷基；D分别独立地表示氢原子或1,2－二叠氮基萘醌－5－磺酰基，且至少一个D表示1,2－二叠氮基萘醌－5－磺酰基；I、m分别独立地表示1或2，![]()
式(C－2)中，D分别独立地表示氢原子或1,2－二叠氮基萘醌－5－磺酰基，且至少一个D表示1,2－二叠氮基萘醌－5－磺酰基，![]()
式(C－3)中，D分别独立地表示氢原子或1,2－二叠氮基萘醌－5－磺酰基，且至少一个D表示1,2－二叠氮基萘醌－5－磺酰基。
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