[发明专利]一种利用表面断裂强度检测刻蚀表面质量的方法及装置有效
申请号: | 201410119092.5 | 申请日: | 2014-03-27 |
公开(公告)号: | CN103884605A | 公开(公告)日: | 2014-06-25 |
发明(设计)人: | 何军;张大成;黄贤;张立;赵丹淇;王玮;杨芳;田大宇;刘鹏;李婷;罗葵 | 申请(专利权)人: | 北京大学 |
主分类号: | G01N3/20 | 分类号: | G01N3/20 |
代理公司: | 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 11200 | 代理人: | 余长江 |
地址: | 100871 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种利用表面断裂强度检测刻蚀表面质量的方法及装置。该方法采用包含刻蚀表面的等强度梁,利用探针台探针对所述等强度梁的刻蚀表面施加位移负载,直至所述等强度梁断裂;然后测量所述等强度梁断裂时刻蚀表面受到的应力,得到表面断裂强度,利用该断裂强度判定刻蚀表面的质量。该装置包括等强度梁和片上多功能针头;所述片上多功能针头包括针尖,支撑针尖的弹性结构,以及测量所述针尖的位移的测力标尺。本发明从断裂强度角度去检测和评价表面质量,能够反映刻蚀表面的粗糙、微裂纹水平,对器件性能、可靠性具有更高的参考价值,操作简单,通用性强。 | ||
搜索关键词: | 一种 利用 表面 断裂强度 检测 刻蚀 质量 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种利用表面断裂强度检测刻蚀表面质量的方法,其步骤包括:1)制作包含刻蚀表面的等强度梁;2)利用探针台探针对所述等强度梁的刻蚀表面施加位移负载,直至所述等强度梁断裂;3)测量所述等强度梁断裂时刻蚀表面受到的应力,得到表面断裂强度,利用该断裂强度判定刻蚀表面的质量。
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