[发明专利]一种制作半导体激光器热沉的方法有效
| 申请号： | 201410119425.4 | 申请日： | 2014-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN103887703B | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 李刚;张松;崔碧峰;徐旭红;赵瑞;计伟 | 申请（专利权）人： | 北京牡丹电子集团有限责任公司 |
| 主分类号： | H01S5/024 | 分类号： | H01S5/024;H01S5/02 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司11212 | 代理人： | 杨立 |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种带石墨烯层的半导体激光器热沉，包括从下至上依次沉积的基体材料层、无氧铜层和石墨烯层，所述基体材料层采用的材料是氮化铝陶瓷、氧化铝陶瓷、氧化锆陶瓷、氮化硅陶瓷、碳化硅或氮化硼中的任意一种。本发明还对应给出了制作所述热沉的方法。本发明采用石墨烯层作为热沉的散热材料，充分利用石墨烯热导率高的物理特性，将半导体激光器工作时产生的热量传导出来并发散掉，能够在不增加半导体激光器重量、体积的情况下，大幅提高半导体激光器的散热能力，降低半导体激光器工作时的温度，保证半导体激光器的光电性能和可靠性，延长半导体激光器的寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制作 半导体激光器 方法 | ||
【主权项】：
一种制作半导体激光器热沉的方法，其特征在于，包括：步骤1，利用铜箔作为碱催化剂层，对甲烷、氢和氩的混合反应气体进行化学气相沉积，形成单层石墨烯；步骤2，将PET薄膜和单层石墨烯进行压力粘合，再溶解铜箔，并将单层石墨烯转移到PET薄膜上；步骤3，重复步骤2，将至少一个单层石墨烯层叠到PET薄膜上；步骤4，将层叠到PET薄膜上的所有单层石墨烯转移到无氧铜层上，得到石墨烯层；步骤5，将无氧铜层沉积到采用氮化铝陶瓷、氧化铝陶瓷、氧化锆陶瓷、氮化硅陶瓷、碳化硅或氮化硼形成的基体材料层上。
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