[发明专利]一种自驱动式氧锌镁紫外探测器及其制备方法

摘要

本发明涉及一种自驱动式氧锌镁紫外探测器及其制备方法，属于紫外探测技术领域，该制备方法包括：采用金属有机化学气相沉积法在衬底上制备氧锌镁薄膜层；在步骤一得到的氧锌镁薄膜层上通过真空热蒸发的方法制备出Au电极层；通过湿法刻蚀所述Au膜层制备出多对叉指电极,即如图所示连接有至少一个第一叉指电极的第一电极和连接有至少一个第二叉指电极的第二电极；所述第一叉指电极与所述第二叉指电极像张开的双手一样相互插在一起。本发明的自驱动式氧锌镁紫外探测器在紫外波段具有很好的光伏特性，可在不需要外加电源的情况工作，极大的节约了能源,且其0伏响应度高，工作时稳定性好，此外，器件制备工艺简单，可控性好。

主权项

一种自驱动式氧锌镁紫外探测器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、采用金属有机化学气相沉积法在衬底上制备氧锌镁薄膜层；步骤二、在步骤一得到的氧锌镁薄膜层上制备Au薄膜层；通过湿法刻蚀所述Au薄膜层制备出连接有至少一个第一叉指电极的第一电极和连接有至少一个第二叉指电极的第二电极；所述第一叉指电极与所述第二叉指电极像张开的双手一样相互插在一起；所述第一叉指电极的指宽为2～50μm；所述第二叉指电极的指宽为10～10000μm；所述第一叉指电极与所述第二叉指电极的指间距离为2～150μm；所述第一叉指电极与所述第二叉指电极的指宽之比为1:2～1:200。