[发明专利]超声波换能器装置及其制造方法、探测器、电子设备

摘要

提供一种超声波换能器装置及其制造方法、探测器、电子设备以及超声波图像装置。超起波换能器装置的特征在于，具备多个振动膜配置为阵列状的基体、形成于所述振动膜上的第一电极膜、形成于所述第一电极膜上的压电体膜、形成于所述压电体膜上的第二电极膜以及形成为比所述第一电极膜的膜厚大的膜厚且与所述第一电极膜连接的第一导电膜。

主权项

1.一种超声波换能器装置，其特征在于，具备：基体，其配置有振动膜；第一电极膜，其形成于所述振动膜上；压电体膜，其形成于所述第一电极膜上；第二电极膜，其形成于所述压电体膜上；以及第一导电膜，其以比所述第一电极膜的膜厚大的膜厚形成且与所述第一电极膜连接，所述超声波换能器装置还具备以与所述第二电极膜隔离且与所述第一导电膜连接、覆盖所述压电体膜的至少一部分的方式形成的第二导电膜，在从所述基体的厚度方向看的俯视观察中，所述第一导电膜具有形成于所述第一电极膜和所述振动膜的第一方向端部之间的第一方向导电体部以及形成于所述第一电极膜和所述振动膜的与所述第一方向端部隔着所述第一电极膜的另一侧的第二方向端部之间的第二方向导电体部，所述第二导电膜具有与所述第一方向导电体部连接并在所述压电体膜上与所述第二电极膜隔离的第一上层导电体部、以及与所述第二方向导电体部连接并在所述压电体膜上与所述第二电极膜隔离的第二上层导电体部，在所述压电体膜上在所述第二电极膜和所述第一上层导电体部之间形成有第一绝缘膜，在所述压电体膜上在所述第二电极膜和所述第二上层导电体部之间形成有第二绝缘膜，所述第一绝缘膜和所述第二绝缘膜在所述第二电极膜上是隔离的。