[发明专利]碲锌镉像素探测器的封装方法在审
申请号: | 201410123591.1 | 申请日: | 2014-03-28 |
公开(公告)号: | CN103915460A | 公开(公告)日: | 2014-07-09 |
发明(设计)人: | 査钢强;王闯;齐阳;赵清华;杨波;李利娜;介万奇 | 申请(专利权)人: | 西北工业大学 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人: | 王鲜凯 |
地址: | 710072 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种碲锌镉像素探测器的封装方法,用于解决现有探测器的封装方法实用性差的技术问题。技术方案是采用具有很好连接性能并保证不破坏CZT晶片的聚合物导电银胶进行连接。导电银胶选用微米级片状银粉作为导电填料,环氧树脂和固化剂作为基体树脂制备而成,具有一定的拉伸性能并能很好分散,同时用银填料具有很好的导电性能,在一定温度下固化或干燥后既能有效地粘接CZT晶片和基板,又能具有良好导电性能。同时针对像素阵列CZT探测器电极密度大,一次准确连接的要求,采用丝网印刷的方法在PCB板像素电极上涂刷导电银胶,再将晶片倒扣进行准确贴合,来实现单个像素的精准连接,同时不会对较脆的CZT晶片造成破坏,实用性强。 | ||
搜索关键词: | 碲锌镉 像素 探测器 封装 方法 | ||
【主权项】:
一种碲锌镉像素探测器的封装方法,其特征在于包括以下步骤:步骤一、对采用垂直布里奇曼法生长的CZT晶锭进行切割、磨抛和光刻像素金电极,制备出不同像素尺寸的CZT探测器,对制备的探测器在显微镜下观察,确保其像素边缘整齐,金膜上无明显缺陷,像素间隙无残胶、残金;步骤二、将待连接的PCB板与不锈钢网用丙酮进行仔细清洗,使其表面无微尘,利用定位柱实现PCB板与带圆孔不锈钢网的准确连接,把处于冷冻状态的导电银胶放于室温下20分钟,使其融化,再挤涂于不锈钢网上,利用刮刀将其轻轻刷涂于不锈钢网孔洞上,导电胶通过孔洞而流向PCB板,把刷涂完毕的PCB板取下,检查胶点尺寸及位置准确度;步骤三、将CZT探测器像素电极一侧向下,吸在贴片机上侧吸头处,印刷好导电胶的PCB板位于下方,贴片机采用两个图像采集系统同时采集CZT晶片的像素电极和PCB板上胶斑的图像,通过调节两者的亮暗程度,来形成清晰度不同的图像,通过X、Y方向移动和转动调节,使像素电极与胶斑对齐;然后将上侧吸头轻轻压下,实现两者的准确连接;随后放于加热台上80℃加热30分钟,以使导电胶固化,并把负极高压导线连接于晶片平面电极一侧。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
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H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的