[发明专利]检测喷头静电结构和方法在审
| 申请号： | 201410123971.5 | 申请日： | 2014-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN104952845A | 公开（公告）日： | 2015-09-30 |
| 发明（设计）人： | 夏禹;刘丽丽 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/66;G01R31/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种检测喷头静电结构和方法，在晶圆的表面形成具有预定间距的第一金属线和第二金属线，分别连接第一测试盘和第二测试盘，在进行清洗工艺时，若喷头存在静电积聚现象则静电在转移至晶圆的表面时，会使第一金属线和第二金属线之间导通，通过测试第一测试盘和第二测试盘之间的电流大小即可判断喷头是否存在静电积聚现象，是否会对晶圆造成损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 喷头 静电 结构 方法 | ||
【主权项】：
1.一种检测喷头静电结构，形成于晶圆的表面，所述结构包括：第一测试盘和第二测试盘，所述第一测试盘连接有第一金属线，所述第二测试盘连接有第二金属线，所述第一金属线和第二金属线之间保持预定间隔。
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