[发明专利]磁传感器测试装置和方法有效
| 申请号： | 201410126752.2 | 申请日： | 2014-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN104345292B | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 廉基福;崔永培;成咏锡;陈景奭 | 申请（专利权）人： | 海驰株式会社 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王萍;李春晖 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供一种磁传感器测试装置和磁传感器测试方法。该磁传感器测试装置包括被配置成产生磁场的垂直线圈和至少一个外围线圈。磁传感器测试装置和方法可以测试半导体晶片上的磁传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种磁传感器测试装置，包括：磁传感器；晶片，其包括所述磁传感器；探针卡；垂直线圈；以及至少一对外围线圈，其中，所述垂直线圈被布置在所述晶片之上，并且所述至少一对外围线圈被对称地布置在所述垂直线圈周围且与所述晶片的表面成锐角。
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