[发明专利]光电二极管、其制作方法及包括其的图像传感器

摘要

本发明公开了一种光电二极管、其制作方法及包括其的图像传感器。其中，光电二极管，包括掺杂在衬底上表面上的第一掺杂区，以及掺杂在第一掺杂区上表面上的第二掺杂区，第一掺杂区和第二掺杂区的导电类型不同，第一掺杂区的上表面上具有一个或多个向外凸起或向内凹陷的表面变化部，第二掺杂区设置在第一掺杂区的上表面上，具有与表面变化部形状相符的结构变化部。该光电二极管在光电二极管中第二掺杂区在衬底上所占区域的横截面积不变的情况下，增加了第二掺杂区的表面积，进而增加了光电二极管的有效感光面积及填充因子。

主权项

一种光电二极管，包括掺杂在衬底上表面上的第一掺杂区，以及掺杂在所述第一掺杂区上表面上的第二掺杂区，所述第一掺杂区和第二掺杂区的导电类型不同，其特征在于，所述第一掺杂区的上表面上具有一个或多个向外凸起或向内凹陷的表面变化部，所述第二掺杂区设置在所述第一掺杂区的上表面上，具有与所述表面变化部形状相符的结构变化部。