[发明专利]氯硅烷提纯系统

摘要

本发明公开了氯硅烷提纯系统，包括：第一至第五精馏塔，第一至第五精馏塔中的每一个精馏塔均具有位于该精馏塔上的进料口、出气口、出液口、进液口以及进气口；第一至第五再沸器，第一至第五再沸器中的每一个均具有位于该再沸器上的进液口、出气口、蒸汽进口以及冷凝液出口；第一至第五回流泵；一个冷凝器。与简单耦合精馏工艺相比，本发明的氯硅烷提纯系统中五塔连续耦合节能效果更明显，能耗降低80%，解决了多晶硅系统中提纯工序高能耗的问题，进而降低了生产成本。

主权项

一种氯硅烷提纯系统，其特征在于，包括：第一至第五精馏塔，所述第一至第五精馏塔中的每一个精馏塔均具有位于该精馏塔上的进料口、出气口、出液口、进液口以及进气口；第一至第五再沸器，所述第一至第五再沸器中的每一个均具有位于该再沸器上的进液口、出气口、蒸汽进口以及冷凝液出口；第一至第五回流泵，所述第一至第五回流泵中的每一个泵均具有泵进口和泵出口；第一至第五回流罐，所述第一至第五回流罐中的每一个回流罐均具有位于该第一至第五回流罐上的罐进口和罐出口；一个冷凝器，所述一个冷凝器具有进气口、出液口、冷源进口和冷源出口；其中，所述第一精馏塔的出气口与所述冷凝器的进气口相连，所述冷凝器的出液口与所述第一回流罐的罐进口相连，所述第一回流罐的罐出口与所述第一回流泵的泵进口相连，所述第一回流泵的泵出口与所述第一精馏塔的进液口相连，以便将一部分氯硅烷冷凝液回流至所述第一精馏塔；所述第一至第五再沸器的进液口依次分别与所述第一至第五精馏塔的出液口相连，以便对氯硅烷塔底液的一部分进行加热再沸；所述第一至第五再沸器的出气口与所述第一至第五精馏塔的进气口相连；所述第二至第五精馏塔的出气口依次分别与所述第一至第四再沸器的蒸汽进口相连，所述第一至第四再沸器的冷凝液出口依次分别与所述第二至五回流罐的罐进口相连，所述第二至五回流罐的罐出口依次分别与所述第二至第五回流泵的泵进口相连，所述第二至第五回流泵的泵出口依次分别与所述第二至第五精馏塔的进液口相连，以便将氯硅烷冷凝液的一部分回流至所述第二至第五精馏塔;其中，所述冷凝器的冷源进口与冷源相连；所述第五再沸器的蒸汽进口与热源相连。