[发明专利]电化学抛光的金属阳极及其密封结构有效
| 申请号： | 201410131557.9 | 申请日： | 2014-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN104975338B | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 代迎伟;金一诺;王坚;王晖 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C25F7/00 | 分类号： | C25F7/00;C25F3/30 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 施浩 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电化学抛光的金属阳极及其密封结构，提高了金属阳极与晶圆的良好接触性能，且避免了由于抛光液的流动性和导电性而导致的电源阴极与阳极易短路或出现电流分流的现象。该电化学抛光的金属阳极及其密封结构包括金属阳极、金属弹簧环、金属刚性环、绝缘防护罩及密封圈。金属阳极为环状，金属阳极开设有一环形凹槽，金属阳极底部的上表面有一段平面。金属弹簧环卡进金属阳极的凹槽内。金属刚性环上有一缺口，金属刚性环套进金属弹簧环内。绝缘防护罩包裹金属阳极的外侧面和底部的下表面。密封圈与绝缘防护罩的底部连接并贴靠在金属阳极的内侧面。 | ||
| 搜索关键词： | 电化学 抛光 金属 阳极 及其 密封 结构 | ||
【主权项】：
1.一种电化学抛光的金属阳极及其密封结构，其特征在于，包括：金属阳极，所述金属阳极为环状，金属阳极开设有一环形凹槽，金属阳极底部的上表面有一段平面；金属弹簧环，所述金属弹簧环卡进金属阳极的凹槽内；金属刚性环，所述金属刚性环上有一缺口，金属刚性环套进金属弹簧环内；绝缘防护罩，所述绝缘防护罩包裹金属阳极的外侧面和底部的下表面；及密封圈，所述密封圈与绝缘防护罩的底部连接并贴靠在金属阳极的内侧面；其中所述金属弹簧环在自然状态下，金属弹簧环的外径小于金属阳极凹槽的外径；所述金属刚性环通过其上的缺口套进金属弹簧环内，金属刚性环套进金属弹簧环后，金属弹簧环处于被拉伸状态。
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