[发明专利]一种激光加工设备及激光加工寻焦方法

摘要

本发明提出一种激光加工设备，其包括依次顺序放置的合束镜、扫描振镜及聚焦镜，所述合束镜的两侧分别入射主激光束和辅助激光束，其还包括对所述辅助激光束的发散角进行调节的发散角修正装置，所述发散角修正装置放置于所述辅助激光束射向所述合束镜的光路中。所述激光加工设备可以综合实现精确寻找焦点位置，并能实现实时跟踪加工位置，且两束激光具有共同的焦平面，解决现有技术方案存在的问题，提高加工效率。本发明另外提供一种激光加工寻焦方法。

主权项

一种激光加工设备，其包括依次顺序放置的合束镜、扫描振镜及聚焦镜，所述合束镜的两侧分别入射主激光束和辅助激光束，其特征在于，还包括对所述辅助激光束的发散角进行调节的发散角修正装置，所述发散角修正装置放置于所述辅助激光束射向所述合束镜的光路中；所述激光加工设备用于加工寻焦的过程包括：开启主激光器，利用主激光束按照预设图案对工件样品进行实时加工，直到加工的线条符合预设条件；开启辅助激光器，观察所述工件样品上的加工图案；通过发散角修正装置调节辅助激光束的发散角，直到观察到的所述加工图案达到预设清晰要求；进入所述聚焦镜的两束不同波长的激光中，一束是呈发散传输的辅助激光束，一束是呈平行传输的主激光束，通过所述发散角修正装置调节辅助激光束的发散角后，这两束激光进入所述聚焦镜后会聚的焦点可以在共同的焦平面上；所述激光加工设备还包括发射所述主激光束的主激光器，所述主激光器采用扩束装置，以使所述主激光束达到平行或近平行的状态。