[发明专利]一种气动低温调节阀

摘要

本发明提出一种气动低温调节阀，其包括气动薄膜执行机构及加长型内外同轴式低温阀，低温阀包括外管组件、内管组件、阀盖组件及阀芯组件，所述外管组件的内管和所述外管组件的内管同轴设置，共同构成的整体结构长度大于等于500mm，所述阀盖组件的两端分别连接于所述外管组件和所述气动薄膜执行机构，所述阀芯组件和所述内管组件球面接触。所述气动低温调节阀易于操作、体积较小、便于安装、轴向漏热小、使用寿命长、调节精度高、密封性能优异。本发明另外提供一种低温真空冷箱。

主权项

一种气动低温调节阀，其特征在于，包括气动薄膜执行机构；及加长型内外同轴式低温阀，其包括外管组件、内管组件、阀盖组件及阀芯组件，所述内管组件的内管和所述外管组件的外管同轴设置，共同构成的整体结构长度大于等于500mm，所述阀盖组件的两端分别连接于所述外管组件和所述气动薄膜执行机构，所述内管组件包括金属波纹管及所述内管，所述金属波纹管套设于所述内管，所述阀芯组件包括阀芯及阀芯座，所述阀芯和所述阀芯座同轴配合；阀芯座和内管相对的端面均设有共同容置不锈钢球的凹槽，压缩弹簧套设于内管上且位于内管和阀芯座之间，内管组件与阀芯组件通过不锈钢球和压缩弹簧实现球面接触；所述内管组件的内管的端面为外凸形球面，其与所述阀盖组件的连接杆的端面实现球面连接，并通过非金属柔性材料制成的导向件对连接杆进行导向。