[发明专利]一种用于微电极接触的过载保护装置及其制备和使用方法

摘要

本发明涉及电接触系统，特指一种微电极接触的过载保护装置及其制备和使用方法。本发明利用相变材料GST薄膜电致收缩效应，用磁控溅射方法制备出GST薄膜，并以此为执行部件，当采样电阻两端的电压达到GST的相变电压时，薄膜发生收缩，带动电极材料向下运动，两电极分开，实现后续电路的保护，待故障解除后可以复位，使相变材料恢复，从而实现电路导通。本装置可以满足微电子电路中保护高灵敏度器件的要求。

主权项

一种用于微电极接触的过载保护装置，其特征在于：所述过载保护装置由载流单元和相变激发单元组成，所述载流单元由载流上电极层和载流下电极层组成，载流上电极由上电极层和电极基底组成，载流下电极由下电极层、上绝缘层、下绝缘层和基底组成；相变激发单元包括相变激发上下电极、相变薄膜、相变恢复电路和采样电阻；相变薄膜位于相变激发上下电极之间；相变激发下电极往下依次为下绝缘层和基底；相变激发上电极往上依次为上绝缘层、下电极、上电极和电极基底；相变恢复电路与采样电阻并联，并联电路的第一端与外电路接线柱相连，第二端分别与下电极、相变激发上电极相连，第三端与相变激发下电极连接，上电极通过引线与外电路接线柱相连。