[发明专利]折反射式光刻照明中继镜组有效
| 申请号： | 201410135489.3 | 申请日： | 2014-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN103984209A | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 黄惠杰;方瑞芳;曾爱军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B17/08 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于光刻照明系统的折反射式光刻照明中继镜组，由折射透镜组、球面反射镜阵列、孔径光阑和平面反射镜组成，本发明具有结构简单，透过率高，成像质量高的特点，容易实现光刻照明系统和投影曝光系统的远心度匹配，可为掩模板提供均匀照明。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 光刻 照明 中继 | ||
【主权项】：
一种用于光刻照明系统的折反射式光刻照明中继镜组，其特征在于该镜组由折射透镜组、球面反射镜阵列、孔径光阑和平面反射镜组成，其位置关系是：沿光束入射方向，依次是所述的折射透镜组、孔径光阑、球面反射镜阵列，且所述的折射透镜组、孔径光阑和球面反射镜阵列相对光轴呈轴对称放置，所述的孔径光阑设置在所述的球面反射镜阵列附近，所述的孔径光阑的中心与球面反射镜阵列的中心重合；在垂直于入射光并在折射透镜组的左边一定距离处放置平面反射镜，该平面反射镜的法线与光轴成45°夹角，该平面反射镜的中心与光轴的距离和物面中心与光轴的距离相等。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海光学精密机械研究所，未经中国科学院上海光学精密机械研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410135489.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
